Vacuum Robot
차별화된 진공로봇 솔루션을 이용하여
고도의 차세대
자동화 반도체 공정을 구축할 수 있습니다.
Vacuum Robot
차별화된 진공로봇 솔루션을 이용하여
고도의 차세대
자동화 반도체 공정을 구축할 수 있습니다.
Hybrid Type
6세대 OLED 생산 시
엄격한 고온, 최소분진(Particle)
발생
환경요건을 충족합니다.
엄격하고 높은 신뢰성을
요구하는 진공 제조환경을
지원합니다.
리니어형과 링크형의 장점 결합
1. 리니어형 장점 : 반복정밀도,
고하중, 고온 적합
2. 링크형 장점 : 최소 파티클 발생
파티클 최소화 (진공환경 유지)
고속 / 고하중 이송으로 생산성
우위 확보
고진공, 고온 하에서 안정적인
구조 설계
높은 신뢰성과 반복정밀도 제공
Scissors Type
10 세대 이상 OLED / LCD
생산 시
고온, 투자비를 절감할 수 있습니다.
시소 구조로 FAB 설계시 낮은 층고를
유지할 수 있어 클린룸 요구조건
충족 합니다.
(클린룸 시설비와 유지비 절감)
고하중, 고온에 강한
암, 바디 구조를
가지고 있습니다.
파티클 최소화 (진공환경 유지)
고속 / 고하중 이송으로 생산성
우위 확보
고진공, 고온 하에서 안정적인
구조 설계
높은 신뢰성과 반복정밀도 제공
Link Type
6세대 OLED 공정용 로봇으로
원천적인 오염 차단 설계 구조를
가지고 있습니다.
분진(Particle) 발생을
최소화하여
청정한 생산
환경을 제공합니다.
최소 회전반경으로
로봇설치 장비의
크기 축소가
가능합니다.
파티클 최소화 (진공환경 유지)
고속 / 고하중 이송으로 생산성
우위 확보
고진공, 고온 하에서 안정적인
구조 설계
높은 신뢰성과 반복정밀도 제공
Linear Type
8세대 이상의 중대형 OLED / LCD
생산 공정용 로봇으로 세계 최고
수준의 내구성과 성능을 제공합니다.
고하중 글래스를 안정적으로
이송합니다.
핸드의 처짐 및 떨림 기능을
최소화하여
반복정밀동이
향상되었습니다.
파티클 최소화 (진공환경 유지)
고속 / 고하중 이송으로 생산성
우위 확보
고진공, 고온 하에서 안정적인
구조 설계
높은 신뢰성과 반복정밀도 제공
6세대 OLED 생산 시
엄격한 고온, 최소분진(Particle)
발생
환경요건을 충족합니다.
엄격하고 높은 신뢰성을
요구하는 진공 제조환경을
지원합니다.
리니어형과 링크형의 장점 결합
1. 리니어형 장점 : 반복정밀도,
고하중, 고온 적합
2. 링크형 장점 : 최소 파티클 발생
파티클 최소화 (진공환경 유지)
고속 / 고하중 이송으로 생산성
우위 확보
고진공, 고온 하에서 안정적인
구조 설계
높은 신뢰성과 반복정밀도 제공
10 세대 이상 OLED / LCD
생산 시
고온, 투자비를 절감할 수 있습니다.
시소 구조로 FAB 설계시 낮은 층고를
유지할 수 있어 클린룸 요구조건
충족 합니다.
(클린룸 시설비와 유지비 절감)
고하중, 고온에 강한
암, 바디 구조를
가지고 있습니다.
파티클 최소화 (진공환경 유지)
고속 / 고하중 이송으로 생산성
우위 확보
고진공, 고온 하에서 안정적인
구조 설계
높은 신뢰성과 반복정밀도 제공
6세대 OLED 공정용 로봇으로
원천적인 오염 차단 설계 구조를
가지고 있습니다.
분진(Particle) 발생을
최소화하여
청정한 생산
환경을 제공합니다.
최소 회전반경으로
로봇설치 장비의
크기 축소가
가능합니다.
파티클 최소화 (진공환경 유지)
고속 / 고하중 이송으로 생산성
우위 확보
고진공, 고온 하에서 안정적인
구조 설계
높은 신뢰성과 반복정밀도 제공
8세대 이상의 중대형 OLED / LCD
생산 공정용 로봇으로 세계 최고
수준의 내구성과 성능을 제공합니다.
고하중 글래스를 안정적으로
이송합니다.
핸드의 처짐 및 떨림 기능을
최소화하여
반복정밀동이
향상되었습니다.
파티클 최소화 (진공환경 유지)
고속 / 고하중 이송으로 생산성
우위 확보
고진공, 고온 하에서 안정적인
구조 설계
높은 신뢰성과 반복정밀도 제공